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高端半导体器件的发展带动乙硅烷的市场需求

2019-08-06 11:34      责任编辑:宋晓瑞    来源:www.newsijie.com    点击:
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高端半导体器件的发展带动乙硅烷的市场需求

        乙硅烷是一种无机化合物,其化学式为Si2H6,在常温常压下为无色透明,且具有一定刺激性气味的有毒气体,在自身蒸汽压下是无色透明液体。乙硅烷气体可以与氢气、氩气、氮气、氦气等以任意比例混合,可以溶于苯、二硫化碳、乙基硅酸和乙基醇。乙硅烷在空气中能自燃,着火点低于室温,因此,乙硅烷遇到空气瞬间燃烧,并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽,在0.2%以上时,燃烧发出火焰,在0.2%以下时,发生氧化反应生成白色的SiO2

        乙硅烷的生产方法具有较大的差异,不用的生产方法所需要的原材料也不尽相同,其中主要的生产方法为硅化镁与氯化铵反应法、卤代乙硅烷还原法等。硅化镁与氯化铵反应法中所用的原材料主要为硅化镁和氯化铵;卤代乙硅烷还原法所用的原材料主要为六氯乙硅烷和氢化铝钠,因此,乙硅烷的上游原材料主要有硅化镁、氯化铵、六氯乙硅烷、氢化铝钠等。

        乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时,与相同作用的硅烷相比,乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。乙硅烷可以用于非晶硅膜太阳能电池和电子产品中电子级晶体硅的生产,在太阳能电池生产中,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多,且温度可降低200~300℃;在半导体工艺中用于外延和扩散工艺,也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓;在离子注入中,以乙硅烷作离子源后束流强,效果明显好于用其他气体作离子源。

        新思界发布的《2019-2023年乙硅烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,随着社会科技水平和人们生活水平的提高,在非晶硅膜太阳能电池、薄膜晶体管液晶显示和芯片制造等领域中,乙硅烷将会逐渐取代传统硅烷,市场规模也会随之扩大,前景较为广阔。与此同时,随着中国企业的不断发力,我国在乙硅烷领域的空白将不断被填补,在合成和提纯方面的技术逐步突破,和国外发达国家的差距不断缩小,可实现部分产品的国产化,但是高端乙硅烷要实现大规模国产化,完全摆脱进口产品的依赖,依然任重而道远。

        近年我国电子工业的整体水平得到了很大提高,但与发达国家相比仍有较大差距,特别是核心关键原材料和高端半导体器件的研发能力和产业化水平,远不能满足中国电子工业高速发展的需求。乙硅烷等特种电子气体是影响电子器件可靠性和成品率的重要因素,气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件实现质的飞跃,因此发展乙硅烷产业已经成为电子工业不可逆转的一大趋势。

        当前,电子工业已经成为支撑国民经济可持续发展和保障国家战略安全的核心工业体系。乙硅烷等高纯特种电子气体的研发与产业化已作为我国大规模集成电路制造装备及成套工艺的核心部分被列入我国国家科技重大专项,与大型飞机、载人航天与探月工程等16个重大专项一起被列入《国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020)》,这对于乙硅烷行业而言,是一个良好的发展机遇。
关键字: 半导体 特种电子气体 乙硅烷